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保障百級潔凈室可靠運行,監(jiān)控方案臺達這樣做!
2023/11/28 10:38:08
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潔凈室 又稱無塵室, 是一種特殊設計和建造的環(huán)境。主要目的是在制造、科學研究或其他需要高度潔凈和控制的應用中,提供一個極低微粒和污染物水平的空氣環(huán)境。

例如:在半導體、光電面板的制造過程中,被加工件的導電性能會被環(huán)境中的金屬離子破壞掉,潔凈室可避免這種情況的發(fā)生。

潔凈室依據潔凈程度,可劃分為零級、十級、百級、千級、萬級乃至十萬級、三十萬級,其中數值越低,代表潔凈室的等級越高。

潔凈室的運營條件苛刻且復雜,不僅需將空氣中的微粒子、有害氣體、有機質等污染物進行排除,更需通過連續(xù)的控制手段將影響室內環(huán)境的各項指標維持在標準數值內。

不同等級的潔凈室有不同的控制標準,以百級潔凈室為例:

影響潔凈室是否達到等級標準的因素很多,如空調系統(tǒng)、新風系統(tǒng)的送風溫濕度、送風靜壓,新干盤管內的回風道溫度,冰水系統(tǒng)、熱水系統(tǒng)的水泵運行狀態(tài),水管閥門的開度等,都會影響區(qū)域內的溫度、濕度和壓差。

因此,一套可嚴密監(jiān)控環(huán)境指標變化和控制相關設備的監(jiān)控系統(tǒng)不可或缺。

針對光電面板廠商新建工廠時的百級潔凈室運營要求,臺達結合在綠色廠務上的經驗,為其提供從建設到實施的一套完美監(jiān)控所有公輔系統(tǒng)的解決方案,對潔凈室的安全運營提供了保障。

強勢入圍:工程能力與服務能力并重

鑒于百級潔凈室的高標準要求,在運營階段承載運營管理重任的監(jiān)控系統(tǒng)同樣有著高標準,必須從開始建設階段即著手介入,整體過程要充分結合制程工藝的需求特點,十分考驗施工單位的全面能力。

基于自身作為大型電子企業(yè),有智能制造實踐的工程建設經驗,臺達為此項目提供了從現場診斷、方案規(guī)劃、工程設計到項目執(zhí)行、保障服務等支持,滿足了業(yè)務方的建設進度和工程質量需求。

臺達解決方案

  1. 應用全功能型工業(yè)組態(tài)軟件VTScada設計主監(jiān)控系統(tǒng),精準布局監(jiān)控點位,監(jiān)測潔凈室內各項指標數值,聯(lián)動上位管理系統(tǒng),聯(lián)動冰水機組、冷卻水泵、熱水泵、空壓機、純水等系統(tǒng),保證百級潔凈室呈現預想效果。
  2. 應用工業(yè)以太網交換機構建冗余網絡,將公輔系統(tǒng)各類設備整合鏈接到監(jiān)控系統(tǒng)中,確保數據信息的及時準確。
  3. 應用冗余型PLC AH500搭載變頻器DPD組成冗余控制系統(tǒng),實現對空調系統(tǒng)、冷卻水塔等第三方系統(tǒng)的數據與流量調節(jié);聯(lián)動主監(jiān)控系統(tǒng),進行精密控制,為潔凈室的調溫、調濕等提供精細化控制。
  4. 應用智能電表,實時監(jiān)控電力消耗數據。

方案中,臺達冗余型PLC、工業(yè)以太網交換機和組態(tài)軟件,形成軟件、硬件、網絡三冗余控制,嚴格確保系統(tǒng)的穩(wěn)定運行。

效益實現:百級潔凈室良性運營

運行狀態(tài)實現嚴格管理

  • 實現完整監(jiān)控

潔凈室內溫濕度、氣壓等關鍵數據實時監(jiān)控。

  • 聯(lián)動第三方設備

各類公輔系統(tǒng)及時聯(lián)動,統(tǒng)一管理,調節(jié)方便,故障處理及時。

  • 精準調節(jié)控制

監(jiān)控系統(tǒng)根據潔凈室內各項指標數據,對相關公輔設備進行開度調節(jié),使室內的溫濕度變化、氣壓壓差、供水量以及灰塵含有量高于百級潔凈室要求。

以溫度變化為例,當監(jiān)控系統(tǒng)檢測到區(qū)域內溫度變化達到臨界值,即可根據外界溫濕度及空調、空壓、熱水等系統(tǒng)的輸送量數值,聯(lián)動PLC調節(jié)相應設備的開度,保持室內溫度始終穩(wěn)定于預定值。

數據實時監(jiān)測、便捷呈現

  • 運行狀況快速查詢

可查詢各區(qū)域傳感器組中溫度、濕度、水壓力等環(huán)境條件的最大值、最小值、平均值及畫面。

  • 報表實施導出

可自動檢測時區(qū),根據時間設定觸發(fā)自動匯出報表,輸出至屏幕、工作表、數據庫或電子郵件。

  • 能源數據監(jiān)測呈現

統(tǒng)計能源數據,呈現歷史數據對比、碳排放統(tǒng)計、能源趨勢分析、能源分布與排名、不同能源的折算對比圖表等。

  • 故障報警

故障問題通過閃爍圖示,以及置短信、電子郵件、呼叫器和語音留言等方式及時通知操作人員。

臺達百級潔凈室解決方案,以“數字化”為鏈條,通過完善的監(jiān)控體系,實現對百級潔凈室的運營管理,助力用戶穩(wěn)定生產,達成良率目標。


 
 
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