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4臂機器人靈活搬運晶圓
http://m.henanjusheng.com 2008-12-08 15:44 來源：日經(jīng)BP社
編者語：12月3日～5日，愛發(fā)科在“SEMICON JAPAN 2008”上參考展出了這種同心6軸型搬運設(shè)備。
用4只機器手靈活搬運硅晶圓。愛發(fā)科在“SEMICON JAPAN 2008”（12月3日～5日，幕張Messe會展中心）上參考展出了這種同心6軸型搬運設(shè)備。此次為首次面向公眾開放，為了一睹實機風(fēng)采，參觀者絡(luò)繹不絕，紛紛向解說員熱心咨詢。
據(jù)該公司介紹，盡管此前已存在使用4只機器手的晶圓搬運設(shè)備，但4只機器手只能進行相同操作。因此，將晶圓搬入搬出制造設(shè)備的處理室時，也只能4只機器手同時搬運，無法靈活搬運晶圓。而此次的搬運設(shè)備4只機器手均可獨立工作，因此能夠從處理完畢的晶圓開始，按順序連續(xù)不斷地將晶圓搬入搬出。該公司表示，通過將軸數(shù)量由原來的3～4軸增加為6軸實現(xiàn)了這種搬運功能。
目前，企業(yè)不斷要求提高半導(dǎo)體制造設(shè)備 的生產(chǎn)性并降低COO（Cost of Ownership），可以說此次的同心6軸型搬運設(shè)備是搬運設(shè)備廠商針對該要求提出的一個解決方案。
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