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   中國電子科技集團公司第四十五研究所(以下簡稱45所)是我國專業(yè)從事半導體專用工藝設備研發(fā)、制造和技術服務的大型科研生產機構，是國家“863”重大設備攻關、IC后封裝設備產業(yè)化示范工程項目承擔單位。45所憑借其多年來的技術積累和創(chuàng)新，默默地耕耘在半導體設備領域。

   10大門類產品服務4大領域

   中國電子科技集團(CETC)第45研究所是國內從事電子專用設備技術、整機系統(tǒng)和應用工藝研究開發(fā)與生產制造的專業(yè)化科研生產單位，以機器視覺技術、運動控制技術、精密零部件制造與優(yōu)化技術、物料傳輸系統(tǒng)技術、精密運動工作臺系統(tǒng)技術、專項工藝研究與物化技術和整機系統(tǒng)集成技術為主要研究方向，以半導體與集成電路專用設備、新興電子元器件專用設備和其他機電一體化專用設備為主要研發(fā)對象?，F(xiàn)已形成以IC關鍵工藝設備“光刻機”為龍頭，晶圓加工設備、芯片封裝設備及電子元件設備等門類齊全，系列配套的產品。由45所研制的半導體材料加工、光刻、電鍍、腐蝕清洗、檢測系統(tǒng)、劃片、鍵合設備在國內處于技術領先地位并已具備規(guī)模生產能力。

   45所研制的產品涉及4大領域10大門類，有100多個品種。30多年來，45所共取得科研成果500多項，其中200多項獲得國家、省(部)級以上獎勵；申請并獲得技術專利50多項；有59種專用設備被國家列入替代進口產品目錄，另有20多項被列為國家級新產品。由45所研發(fā)生產的6000多臺(套)專用設備在我國集成電路制造行業(yè)和其他行業(yè)近300家企業(yè)的生產線、科研院所以及高校發(fā)揮著重要作用。

   45所產品服務的主要市場領域包括微電子、半導體照明(LED)、太陽能光伏、半導體分立器件及元件、特種材料等其他電子元器件。其中，微電子及分立器件客戶大多數分布在珠、長三角地區(qū)，主要涉及光刻機、清洗系統(tǒng)、探針臺、劃片機、焊線機等產品；半導體照明設備產品的客戶(封裝+芯片)主要分布在珠三角地區(qū)，主要涉及光刻機、清洗系統(tǒng)、探針臺、劃片機、粘片機、焊線機等產品；太陽能光伏(含太陽能硅片及電池片)設備產品的客戶主要分布在長三角地區(qū)，涉及多線切割機、印刷機、清洗制絨系統(tǒng)、甩干機、劃片機等產品。其他元件、特種材料等電子元器件設備產品客戶在全國各地均有分布，涉及的產品包括切片機、清洗機、甩干機、劃片機等。

   LED設備受到廣泛青睞

   在市場開拓方面，他們注重國內大用戶、龍頭企業(yè)的開發(fā)，在半導體后封裝專用設備、 LED(發(fā)光二極管)生產專用設備及太陽能生產專用設備等方面取得了較大的進展，所開發(fā)的部分產品已經能和國外大公司的產品抗衡，尤其是LED設備更是受到眾多廠商的青睞。

   目前，針對DB-8002LED自動粘片機他們有一支專業(yè)的售后隊伍，能夠完成從售前的技術支持，到售后的技術服務及維修工作，有效保證設備在用戶現(xiàn)場的正常運行。國內LED制造行業(yè)競爭日趨激烈，產品的利潤非常低，大多數以手工生產為主，產品品質難以保證。而自動化設備原來要依賴進口，不僅價格昂貴，售后服務也得不到保證。目前國內這類設備年需求超過500臺（套），而45所開發(fā)的設備恰恰滿足這部分用戶的需求，在設備性能和品質上和國外設備相當，價格和售后就成了他們優(yōu)勢所在。同時，為了追求較高的利潤，很多廠商都要生產一些個性化的LED應用產品，這就對設備也提出了個性化要求。45所可以很快地深入用戶，了解用戶工藝情況，提出解決方案。
   未來他們將按既定的開發(fā)思路，除在產品技術含量、可靠性、制造成本等方面繼續(xù)做好工作以外，重點開發(fā)國內的龍頭企業(yè)，以此帶動整個行業(yè)的市場開拓，謀求更大的市場份額。

   積極跟蹤生產工藝發(fā)展

   45所作為我國半導體制造設備開發(fā)生產的國家隊，始終站在與國外設備競爭的最前沿，堅持以為太陽能電池企業(yè)提供工藝實用性強、性價比高的設備為己任，以降低太陽能電池企業(yè)投資和運行成本、提升太陽能電池企業(yè)市場競爭力為目標，致力于加快提高國產設備整線供給裝備和工藝技術的能力。由于看到太陽能電池和半導體照明產業(yè)的迅猛發(fā)展勢頭，45所針對其工藝和使用特點，對相關產品進行了適應性改進和提升，取得了較好的市場反響。絲網印刷、硅片制絨、清洗和大容量沖洗甩干等設備已批量進入國內主要的太陽能電池生產企業(yè)。

   由45所自主研發(fā)的太陽能光伏設備，擁有自主知識產權，并申請了多項專利，關鍵零部件國產化率已達80%?！瓣柟獠少徆こ獭睘閲鴥韧鈨?yōu)秀的原材料和元器件供應商搭建了技術交流平臺，在北京及其周邊地區(qū)已形成了良好的生產、供應相互配套的產業(yè)鏈，促進了這些地區(qū)企業(yè)的經濟效益，帶動了地方經濟的發(fā)展。

   在產品開發(fā)策略上，他們瞄準晶體硅太陽能電池制造最關鍵的設備——多線切割機和全自動印刷設備重點開發(fā)、目前，這兩種設備的國產化工作取得了重大進展。

   在太陽能硅片制備方面，45所自主研發(fā)，擁有15項專利的多線切割機日前已成功切割出厚度為180μ m的標準 156mm×156mm方硅片。

   在太陽能電池片制造方面，備受關注的全自動絲網印刷自動系統(tǒng)開發(fā)也取得了重大突破，設備關鍵的單元技術，如視覺對準、自動傳輸翻片系統(tǒng)、碎片在線檢測系統(tǒng)、自動柔性印刷、效率檢測分揀系統(tǒng)等已完成了實用化開發(fā)，該設備將在2010年實現(xiàn)批量生產。

   45所從20世紀60年代就開始了對內圓及外圓切片機的研究，積累了豐富的技術經驗。面對太陽能原材料價格上漲，多線切割機市場需求增長的趨勢，適時地開發(fā)了DXQ-601型多線切割機，技術指標、工藝性能等參數均接近或超過國外同類設備的水平，填補了國內該類產品的空白。與傳統(tǒng)內圓切片工藝相比，線切割具有彎曲度、翹曲度小，平行度好，總厚度偏差離散性小，刃口切割損耗小，表面損傷層淺，晶片表面粗糙度小，切割效率高等顯著優(yōu)點。

   制絨是制造太陽能電池的一道關鍵工藝，對提高電池的轉換效率起著重要的作用，目前在單晶硅太陽能電池制造工藝中，主要采用槽式制絨設備。由45所研制的SFQ-1508ZT型全自動制絨清洗機、SFQ-1504ZT全自動去磷硅玻璃清洗機、SFQ-1506ZT全自動預清洗機等設備，全過程均采用自動化。用戶在手動上料后由3套機械傳動裝置來完成腐蝕、清洗等工藝過程，減少了人工干預，具有自動化程度高，運行成本低，生產效率高、性能穩(wěn)定、安全可靠等特點。

   在太陽能電池生產工藝中，干燥是控制成品率、降低碎片率的關鍵步驟。在現(xiàn)代電池生產工藝中，主要采用烘干加熱結合旋轉甩干的方式，其技術關鍵體現(xiàn)在烘干效果、碎片率、運行成本等方面。45所開發(fā)的LXS-800型立式旋轉沖洗甩干機，在目前各主要太陽能電池生產線(南京中電、江蘇林洋、保定天威等)上都得到了用戶的肯定。

   結合太陽能電池工藝中的印刷工藝和國內工藝線中試驗線和中小型生產線的要求，45所研制了半自動印刷設備——— WY-159型精密網版印刷機、WY-178型自動精密網版印刷機和WY-216型精密網版印刷機，設備采用手動上下料，自動完成太陽能電池片生產過程中正面金屬電極、背接觸電極、背鉆等的絲網印刷，也適用于厚膜電路、印刷電路板、液晶顯示器、表面貼裝等電子元器件的高精密圖形印刷。

   隨著太陽能電池行業(yè)的不斷發(fā)展，45所將繼續(xù)發(fā)揮研究所在研發(fā)方面的優(yōu)勢，積極跟蹤生產工藝的發(fā)展，不斷改進和提高設備的工藝適應性，以適應市場的發(fā)展及工藝的要求。

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   45所科技研發(fā)取得的成績

   1975年 研制成功我國首臺精縮照相機，獲國家科技進步一等獎。
   1978年 研制成功我國首臺圖形發(fā)生器。
   1984年 研制成功我國首臺分步光刻機，并獲得電子工業(yè)科技進步一等獎。
   1993年 研制成功我國首臺雙面光刻機，并獲得國家級新產品獎，電子工業(yè)科技進步三等獎。
   1997年 研制成功我國首臺超低溫陣列探針測試臺，獲電子工業(yè)科技進步二等獎。
   1997年 研制成功我國首臺全自動探針測試臺。
   2005年 承擔的國家重點科研項目“SB-601型雙面光刻機”通過了設計定型和驗收，該設備是國內第一臺實用化的6英寸雙面光刻機，在國內處于領先水平。
   2005年 金剛石內圓刀片鍍制成型裝置技術、旋轉沖洗設備專用無刷電機驅動裝置、油墨打印頭三項專利獲全國第十五屆發(fā)明展銀獎。
   2005年 8英寸晶片減薄機通過國家鑒定，該設備進給分辨率可達0.1μm，具有世界先進水平，在此基礎上減薄出60μm的片子為國內首創(chuàng)。