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   大多數(shù)人都會同意，這是半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)史上最嚴重的一次衰退；而其中自動測試設(shè)備、檢測設(shè)備(Inspection)、微影設(shè)備與晶圓清洗設(shè)備等產(chǎn)品領(lǐng)域的狀況，是慘上加慘。但筆者認為，晶圓廠自動化設(shè)備(Fab automation)才是最慘的…

　　這些晶圓廠自動化設(shè)備包括前端模塊(front-end modules, FEMs)、分類機(sorters)、傳送盒(load ports)以及自動化物料搬運系統(tǒng)(automated material handling systems，AMHS)等。這些設(shè)備領(lǐng)域狀況凄慘的證據(jù)如下：

　　1. 領(lǐng)導(dǎo)級晶圓廠自動化設(shè)備供貨商Asyst最近聲請破產(chǎn)，并正尋找買主；該產(chǎn)業(yè)已經(jīng)面臨無止盡的虧損跟裁員。

　　2. 另一家供貨商Brooks Automation也面臨虧損與裁員。該公司最近一期財報顯示該公司09年第二季營收為3,730萬美元，與08年同期的1.477億美元相較，下滑幅 度達74.7%；與第一季的7,340億美元相較也減少了49.2%。該公司第二季凈損達1.525億美元。

　　3. 日本業(yè)者Daifuku的狀況稍為好一些，該公司第三季營收成長了12.9%，不過利潤縮水了30.1%；Daifuku的產(chǎn)品非常多元化，不過我確定其無塵室設(shè)備的表現(xiàn)最糟。

　　4. 另一家日本晶圓廠自動化設(shè)備供貨商Murata Machinery的狀況也類似，同樣面臨窘境。

　　晶圓廠自動化設(shè)備的問題在于，這類訂單并沒有群聚性，當(dāng)一家晶圓制造商打算整頓某座廠房的晶圓自動化設(shè)備，才會訂購相關(guān)系統(tǒng)并裝機；這類訂單是完整的，且很少是金額大、又包括后續(xù)訂單的。FEM可能情況稍有不同，但也不會是大筆生意。

　　這為何是個問題？首先，晶圓設(shè)備產(chǎn)業(yè)的每個領(lǐng)域需要至少三家或?qū)嵙ο喈?dāng)?shù)墓┴浬?，且每家供貨商能相互競爭激勵?chuàng)新，推出優(yōu)良又價格合理的產(chǎn)品。但目前的困難在于，晶圓廠自動化設(shè)備領(lǐng)域停滯不前、缺乏創(chuàng)新，而且僅存兩家或是更少的供貨商有正常財務(wù)狀況。

　　換句話說，晶圓廠自動化設(shè)備產(chǎn)業(yè)已經(jīng)出現(xiàn)危機；等到芯片制造商重新開始建造晶圓廠，恐怕沒有廠商能提供最新、最先進的AMHS系統(tǒng)。

　　對我來說，狀況很不明朗；該如何解決呢？芯片制造商也許得幫忙投資，以協(xié)助他們的晶圓廠自動化設(shè)備供貨商伙伴脫困。如果不這么做，讓那些設(shè)備供貨商一個個落得破產(chǎn)，下一代的自動化晶圓廠也會成為泡影。