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美國加利福尼亞州圣巴巴拉市和中國北京，2019年5月6日 — 美國最大的MEMS 技術(shù)和平臺(tái)方案獨(dú)立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的三名（個(gè)）優(yōu)秀學(xué)生（團(tuán)隊(duì)）頒發(fā)了2018年度MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，以鼓勵(lì)他們?cè)贛EMS工藝技術(shù)研究與開發(fā)領(lǐng)域所做的貢獻(xiàn)，并激勵(lì)更多未來之才持續(xù)投身MEMS制造工藝技術(shù)的創(chuàng)新研究。這是IMT為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院頒發(fā)的第四屆MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，也標(biāo)志著雙方開展戰(zhàn)略合作已有四年。本年度最終獲頒獎(jiǎng)學(xué)金的是黃東、李君實(shí)（團(tuán)隊(duì)），朱佳（個(gè)人），李婷宇、徐涵、周文博（團(tuán)隊(duì)）。

IMT公司積極參與中國半導(dǎo)體生態(tài)發(fā)展，與眾多伙伴開展了廣泛而深入的合作。除了為中國領(lǐng)先的器件設(shè)計(jì)公司代工生產(chǎn)先進(jìn)的MEMS產(chǎn)品，IMT還與諸多研究機(jī)構(gòu)攜手，致力于MEMS制造工藝技術(shù)的研發(fā)。IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的戰(zhàn)略合作始于2015年，作為該合作的一部分，IMT在MEMS研究和開發(fā)領(lǐng)域設(shè)立了專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，每年向北京大學(xué)的三名（個(gè)）學(xué)生（團(tuán)隊(duì)）提供獎(jiǎng)學(xué)金。該獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃是首項(xiàng)在中國專門針對(duì)MEMS制造工藝技術(shù)開發(fā)而設(shè)立的獎(jiǎng)學(xué)金。

隨著IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的戰(zhàn)略合作持續(xù)深化，越來越多的學(xué)生開始在MEMS工藝技術(shù)研究方面投入精力，并參與到MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金的角逐中來。在對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院最終將2018年度獎(jiǎng)學(xué)金授予了黃東、李君實(shí)（團(tuán)隊(duì)），朱佳（個(gè)人），李婷宇、徐涵、周文博（團(tuán)隊(duì)）。這三組IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為用于生物MEMS應(yīng)用的先進(jìn)微針陣列電極制造，用于生物傳感的三維空腔光學(xué)納米天線的制造，用于液體活檢應(yīng)用的聚一氯對(duì)二甲苯（Parylene C）微孔過濾膜的制造和功能化。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>

MEMS已經(jīng)作為一種整合技術(shù)出現(xiàn)在諸多不同的應(yīng)用中，例如物聯(lián)網(wǎng)、無人機(jī)、智能手機(jī)、可穿戴電子產(chǎn)品、生物領(lǐng)域和機(jī)器人等應(yīng)用，新型的MEMS器件正在被快速地開發(fā)并推出。為了不斷推動(dòng)MEMS技術(shù)的創(chuàng)新，IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)結(jié)為合作伙伴并積極開發(fā)先進(jìn)制造工藝技術(shù)，以應(yīng)對(duì)眾多領(lǐng)域快速發(fā)展的需求。

“很高興又一次代表IMT為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的優(yōu)秀學(xué)生頒發(fā)MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金。雙方合作四年以來，我們看到學(xué)生們開展的研究越來越深入，創(chuàng)新性也越來越強(qiáng)。這讓我們對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)的前景抱有極大的信心。”IMT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示。“中國是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最重要的市場(chǎng)之一，IMT始終對(duì)中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展保持高度關(guān)注，同時(shí)我們也期待利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)助力中國的MEMS技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品開發(fā)、國際合作邁上一個(gè)新的臺(tái)階。”

“通過與IMT這樣全球領(lǐng)先的MEMS制造服務(wù)公司合作，尤其是借助MEMS 專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃，我們?yōu)榍嗄瓴趴冮_啟了一扇大門，有助于擴(kuò)展他們的視野，并為他們開展新一代MEMS技術(shù)的創(chuàng)新研究提供了很好的平臺(tái)。”北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院王瑋教授表示。“多年來，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院一直致力于MEMS新技術(shù)、新工藝的研發(fā)，以及為行業(yè)培養(yǎng)更多的優(yōu)秀工藝研發(fā)人才。希望通過我們與IMT甚至更多機(jī)構(gòu)的共同努力，能夠推動(dòng)MEMS技術(shù)在中國乃至全球快速發(fā)展并實(shí)現(xiàn)在業(yè)內(nèi)的更廣泛應(yīng)用。”