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   微機電系統(tǒng)在未來的高科技領(lǐng)域有很大的應(yīng)用潛力，但目前它們也有一個難以克服的缺陷，那就是計量結(jié)果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)《大眾科學(xué)》雜志網(wǎng)站8月10日報道，美國普渡大學(xué)的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，可以讓微機電系統(tǒng)進行自我校準，這一研究成果有望打開研發(fā)各類超高精度的傳感器和設(shè)備的大門，可在醫(yī)學(xué)、工程以及國防領(lǐng)域發(fā)揮作用。

　　微機電系統(tǒng)的尺寸不到一納米，在如此微小的尺度上制造這種設(shè)備難免會存在誤差，要保證生產(chǎn)出的微機電系統(tǒng)完全一致是不太可能的。既然沒有可靠的方法來制造兩個一模一樣的微機電系統(tǒng)，就必須采用一些校準手段來盡量避免或者減小它們在計量時彼此之間的誤差。然而，要想在這種微觀尺度上進行距離或者力的測量同樣非常困難，因此，到目前為止，還沒有確定一套標準來校準兩個微機電系統(tǒng)的功能，以使它們的性能和計量方式完全一樣。

　　而普渡大學(xué)開發(fā)的這項被稱為微電計量的新技術(shù)，可幫助工程師確定施加于微機電系統(tǒng)器件上的力的大小。微電計量技術(shù)通過測量微機電系統(tǒng)的電子特性來定義其機械特性，因為在這樣的微觀尺度上，電子特性比物理力更易測量。一旦獲得了微機電系統(tǒng)器件的電容數(shù)據(jù)，研究人員就能精確計算出其形狀、硬度和受力大小。

　　更準確地說，可自我校準的微機電系統(tǒng)意味著性能更優(yōu)、更便宜的原子力顯微鏡，能夠開展更有效的生物技術(shù)和納米技術(shù)研究的高功率實驗室工具，可嗅探出化學(xué)威脅的超靈敏傳感器，甚至可用于追蹤或確定犯罪嫌疑人的超靈敏“芯片鼻”。