http://www.winsensor.com.cn
http://www.winsensor.com
DGS03質(zhì)量流量控制系統(tǒng)主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導體和集成電路工藝、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：微電子工藝設(shè)備、，如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。系統(tǒng)默認配置為： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200； 控制方式：數(shù)字。
∮主要技術(shù)參數(shù)：
|
流量規(guī)格(N2)
|
（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM
（0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
|
|
準確度
|
±1.0% S.P . (≥35% F.S.)
±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
|
|
線性
|
±0. 5% F.S.
|
|
重復精度
|
±0.2% F.S.
|
|
工作壓差范圍（＜0.02MPa）
|
0.05~0.35Mpa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1~0.35Mpa 流量規(guī)格＞10SLM
|
|
溫度系數(shù)
|
零點：≤±0.05FS/℃; 調(diào)節(jié)時:≤±0.1FS/℃
|
|
耐壓
|
3MPa
|
|
響應(yīng)時間
|
≤2sec
|
|
漏率
|
1×10-10pa.m3/sec He
|
|
密封材料
|
氟橡膠; 氯丁橡膠
|
|
工作環(huán)境溫度
|
(5~45) ℃
|
