MF管道式工業(yè)氣體質(zhì)量流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣/氫氣/天然氣等干凈氣體流量計，主要用于半導體、化工、冶金、空氣分離、機械制造等生產(chǎn)線上氣體消耗的內(nèi)部結算；化工行業(yè)的生產(chǎn)過程用氣的控制測量；冶金、機械制造行業(yè)中用于焊接燃燒氣體的計量；食品行業(yè)中用于CO2等氣體的測量等等，管道式傳感器，法蘭連接。
工作原理 MF系列工業(yè)氣體質(zhì)量流量計采用熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量傳感方式的流量計，它是通過氣體流動產(chǎn)生的熱場變化來測量氣體流量，由于不同質(zhì)量的氣體對熱場的變化具有不同的影響，所以它所測的數(shù)據(jù)為質(zhì)量流量。
不同于傳統(tǒng)的“熱傳感器”方式采用了多個熱傳感器和多個熱源來測量氣體的質(zhì)量流量（風速式熱質(zhì)量流量原理），MF5000微管氣體質(zhì)量流量計采用了多個熱傳感器和一個微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對測量的影響。MF5000微管氣體質(zhì)量流量計的熱源十分微小，幾乎不需要時間進行加熱。傳感器插入在相對大的流場中，在無氣體流動時，傳感器的熱源對環(huán)境無影響，不會因此引起氣體對流而導致零點變化。所以，MF5000微管氣體質(zhì)量流量計具有極短的響應時間和優(yōu)良的零點穩(wěn)定性。
產(chǎn)品特點1、 采用微機電系統(tǒng)芯片作為傳感器，流量計的靈敏度極高同時具有良好的零點穩(wěn)定性；
2、 單個芯片上實現(xiàn)多傳感器集成，使該流量計的量程比大于100：1；
3、 和傳統(tǒng)的機械式流量計比較，壓力損失大幅減小，極大的降低了能源消耗；
4、 采用LCD顯示瞬時流量和累積流量，清晰直觀，讀數(shù)方便；
5、 本流量計帶有RS-485通訊模塊，配合上位計算機網(wǎng)絡可實現(xiàn)集中管理；
6、 可以選配4-20mA DC電流信號輸出；
技術指標
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量 程 比
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�。�100：1
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精 度
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±（1.0+0.15FS）%；±（1.5+0.15FS）%
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重 復 性
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±0.5%
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工作壓力
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＜2.5MPa 2.5-4.0MPa為定制產(chǎn)品
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環(huán)境溫度
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-10-55℃
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介質(zhì)溫度
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-20-60℃
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濕 度
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�。�95%RH
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LCD顯示
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累積流量（0..999Nm3），瞬時流量（0.000-999999.999Nm3/h）
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供電電源
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8-24VDC
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校準條件
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空氣，20℃；101.325kPa 可根據(jù)用戶要求進行實際介質(zhì)標定
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材 料
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不銹鋼
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連接方式
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法蘭
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數(shù)據(jù)存儲
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可自動存儲數(shù)據(jù)
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通訊方式
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RS485
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輸出信號
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4-20mA；脈沖
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防護等級
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IP65
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防爆等級
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ExiaIICT4
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MF管道式工業(yè)氣體質(zhì)量流量計可測量空氣/氧氣/氮氣/氬氣/二氧化碳氣/氫氣/天然氣等清潔氣體的流量，主要用于半導體、化工、冶金、空氣分離、機械制造等生產(chǎn)線上氣體消耗的內(nèi)部結算；化工行業(yè)的生產(chǎn)過程用氣的控制測量；冶金、機械制造行業(yè)中用于焊接燃燒氣體的計量；食品行業(yè)中用于CO2等氣體的測量等等，管道式傳感器，法蘭連接。
流量數(shù)據(jù)
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公稱通徑
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最大工作壓力
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精度
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量程比
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流量范圍（Nm3/h）
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25
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2.5
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±1.0%
±1.5%
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1：20
1：100
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0-100
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32
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2.5
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0-160
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40
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2.5
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0-250
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50
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2.5
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0-400
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65
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2.5
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0-650
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80
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2.5
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0-1000
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100
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2.5
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0-1600
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150
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2.5
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0-3600
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