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MFC2000系列質量流量控制器采用公司專有的MEMS Thermal-D操作TM熱量傳感技術與智能控制電子設備，這種獨特的質量流量傳感技術消除了一些擴散率相似的氣體的氣體敏感性，并允許在編程后進行氣體識別。本產品可用于動態(tài)范圍為100:1的過程控制，其控制范圍為0.1至1MPa（15至150 PSI）的壓力和0至50℃的補償溫度。該產品的設計便于更換機械連接器，標準連接器為NPT1/8'至1/2'，其他定制連接器可根據(jù)要求提供。
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