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CPU內(nèi)部連線技術

http://m.henanjusheng.com 2014-11-12 21:00 蘇州聯(lián)業(yè)和精密科技有限公司

CPU誕生以來一直采用鋁連線技術,在CPU芯片內(nèi)部,晶體管之間通過鋁連線進行晶體管之間的信號傳遞。鋁附在 硅片上,以線路的形式連接硅片上的千萬個晶體管。鋁的導電性能雖然不如銅,但因為過去的芯片尺寸大,而且鋁不會傷及硅片,價格又便宜,自然是一種極好的選 擇。但現(xiàn)在的晶體管越來越小,電阻率和阻抗的影響也越來越大。采用鋁連線技術和0.18um線寬加工技術,使CPU工作頻率達到1GHz已經(jīng)達到技術的頂 峰。

鋁材料與其他材料相比,電阻率并不很低,如鋁電阻率為17,而銅為10.7,銀為9.9。這樣,線寬越小,電阻率的作用就越突出,使晶 體管的靜電電容增加,延緩了晶體管的狀態(tài)切換速度,從而影響CPU頻率的進一步提高。此外,由于電阻率相對較高,而導致功耗升高,熱量增加,直接威脅著的 安全運行。

相對鋁而言,銅就具有很好的物理性能:電阻小、發(fā)熱量低、導電性強。因此,基于銅連線技術的芯片更易實現(xiàn)高頻率。據(jù)測算,在相同的條件下,銅技術芯片的功耗較鋁連線技術芯片的功耗低40%,這將大大降低CPU的發(fā)熱量。

銅連線技術長久以來存在許多技術上的困難,而最難的主要在于以下兩點:

—是制作工藝難。

CPU 芯片中的銅線路不是將制成的銅線平鋪于芯片上,而是將銅材料填到晶體管絕緣基板上的槽中。在這個工藝制作過程中,鋼容易被腐蝕,產(chǎn)生氣泡,致使傳導的穩(wěn)定 性大幅下降,熱量集聚等難以解決的工藝問題。因此,要在芯片制造中采用銅,除了需要新的絕緣技術之外,還需要新的加工工藝流程,而且銅制工藝在空間上要與 其他工藝分開來。AMD公司有幾個廠房使用銅制工藝,其人員、設備以及物料,一切與銅相關的東西都嚴格地與其他生產(chǎn)設備分離,連供氣系統(tǒng)都是單獨的。

二是硅易因銅而中毒。

銅 是人們熟知的熱的良導體,但是銅在半導體制造中并沒有表現(xiàn)出其他良好的特性,它無法可控地散開,容易弄臟半導體材料。在顯微鏡下才能看見的元件中,幾個游 蕩的銅原子已足夠使電路的電子性能完全改變,變得不能再用。另外,如果銅長期和硅在一起,銅原子會侵入硅體,造成硅中毒,失去半導體的特性。

IBM公司最早克服了以上技術困難,實現(xiàn)了銅連線技術。其后,AMD公司最先將銅連線技術應用在CPU設計技術中。隨后,英特爾公司在0.13um的Pentium 4產(chǎn)品中也采用了銅連線技術。

在相同條件下,銅連線技術比鋁連線技術減少40%的功耗,并能實現(xiàn)更快的主頻。銅連線技術有以下3個方面的優(yōu)勢:銅的電阻小,發(fā)熱量小,從而可以 保證CPU在更大范圍內(nèi)的可靠性;采用0.13um以下及銅工藝芯片制造技術將有效地提高芯片的工作頻率;能減小現(xiàn)有管芯的體積。

我 們看到,采用鋁連線技術,英特爾公司將CPU工作頻率從4.77MHz提高到10001MHz花費了20年的時間。采用銅連線工藝后,Pentium 4從1GHz提高到2GHz只花費了不到一年的時間。因此可以看到,銅連線技術是一項重要的技術革命。這種換代是革命性的,因此必須犧牲原有產(chǎn)品優(yōu)勢為代 價,原來在鋁連線工藝方面擁有的設備投資越多,其轉(zhuǎn)化到銅連線工藝領域的步驟也就越艱巨,以往能產(chǎn)生財富的金雞如今卻成了改朝換代的包袱和累贅。換裝新設備就必須淘汰一大批舊有的設備,這種更新是以億美元為單位來計算的。

這 種投人和花費很值得,因為跟鋁相比,銅的內(nèi)阻約低40%,銅制芯片最髙可將時鐘頻率提高35%。。此外,制造費用也會下降20%~30%,因為一次加工即 可完成。芯片的價格卻沒有因此而下降,這主要是因為廠商在新技術及廠房設備方面投人了巨額資金, 以控制銅的漂移傾向。

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