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傳感器的靈敏度和線性度是傳感器最重要的性能特征，特別是對于微壓壓力傳感器而言，小量程的微壓壓力傳感器的靈敏度和線性度一直是阻礙微壓壓力傳感器發(fā)展的一大因素。
為了解決微壓壓力傳感器靈敏度和非線性的矛盾，在結構上，綜合梁膜結構與平膜雙島結構的優(yōu)點，采用雙島-梁結構。島區(qū)的面積不是按比例放大或縮小。首先，為了增加靈敏度，應盡可能減小窄梁區(qū)的長度和寬度。因為從對梁-膜-島結構的有限元分析和近似解析分析中發(fā)現(xiàn)，減小窄梁區(qū)的長度和寬度可以明顯地使梁上的應力增大。并且當中間窄梁的長度約為兩邊窄梁長度的2倍時，器件的線性度最好。雖然有雙島限位結構，但在高過載情況下，硅膜將首先從島的邊區(qū)和角區(qū)破裂。這是因為傳統(tǒng)的島膜結構都是采用常規(guī)的有掩模的各向異性濕法腐蝕，從硅片背面形成硅膜和背島。硅膜是晶面，邊框和背大島側面都是晶面，夾角為54.74°的銳角。根據(jù)力學原理，在角區(qū)存在應力集中效應，使硅膜在正面或背面受壓以后，角區(qū)會具有應力的極值，因此破裂首先從該處發(fā)生。引入應力勻散結構以后，使角區(qū)變成具有一定曲率的圓角區(qū)，使該區(qū)的應力極值下降。在硅膜與邊框或背島的交界處要形成有一定曲率半經的緩變結構，采用一般的常規(guī)各向異性濕法腐蝕是無法實現(xiàn)的。為此，采用了掩模-無掩模各向異性濕法腐蝕技術。
微壓壓力傳感器具有廣泛的用途，目前微壓力傳感器的量程還不夠小，靈敏度和線性度也不是很好，所以微壓壓力傳感器還不能得到很好的應用，隨著科技的發(fā)展，微壓力傳感器的應用前景將會進一步拓展。
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