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微機(jī)電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS，基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因?yàn)榇嬖诩夹g(shù)和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費(fèi)產(chǎn)品一樣進(jìn)入市場(chǎng)。
目前，由于MEMS加速度傳感器技術(shù)的進(jìn)步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場(chǎng)新的傳感器市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)。 mems加速度傳感器特點(diǎn) 由于傳統(tǒng)的基于機(jī)電工藝制成的傳感器和執(zhí)行器在體型、價(jià)位和產(chǎn)能上不能融入工業(yè)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的需求，MEMS逐漸快速發(fā)展起來(lái)。
與傳統(tǒng)的傳感器相比較，MEMS傳感器在規(guī)格、性能、自動(dòng)化等層面都具有非常明顯的優(yōu)勢(shì)。比如說(shuō)，在陀螺儀及麥克風(fēng)層面，MEMS技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)橹夹g(shù)升級(jí)帶來(lái)較大跨躍。
比較1：陀螺儀。傳統(tǒng)的光纖陀螺儀，體型雖然越來(lái)越小，但針對(duì)放入一些電子產(chǎn)品而言是不可能完成的。而且為了確保性能，這樣一個(gè)陀螺儀的產(chǎn)量之低和價(jià)位之高也是顯而易見(jiàn)。 而我們現(xiàn)在智能手機(jī)上選用的陀螺儀則是MEMS陀螺儀，其體積小、功耗低、易于數(shù)字化和自動(dòng)化，特別是成本低，易于批量生產(chǎn)，非常適合手機(jī)、汽車(chē)牽引控制系統(tǒng)、醫(yī)療器械這些需要大規(guī)模生產(chǎn)的設(shè)備。
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