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半導(dǎo)體勻膠顯影機(jī)一般由動力系統(tǒng)、顯影液槽及噴液管、水洗槽、擠壓 (水)輥、涂膠槽等部分組成，適用于半導(dǎo)體、化工材料、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面顯影。
本期小明就來分享一下傳感器在勻膠顯影機(jī)中的作用~
檢測水滴/膠滴
光纖傳感器 PG1+ PT-30ML
- 選用區(qū)域?qū)ι涔饫w，覆蓋面積廣，即使水滴路徑有微小偏差依然在檢測區(qū)域內(nèi)，可被穩(wěn)定檢測
- 功率大，光軸清晰明亮，可輕松調(diào)整光軸位置
- 放大器搭載了超高速模式，微秒級響應(yīng)時間，可穩(wěn)定快速地進(jìn)行檢測
- SET按鍵調(diào)試，使用簡便輕松
檢測晶片位置
激光傳感器 ELE-RM05N
- 晶圓傳送盒的顏色和形狀變化所產(chǎn)生的光量值偏差很小，需要選擇回歸反射型傳感器可進(jìn)行穩(wěn)定的測量，安裝反光板，減少了布線煩惱
- 光斑小，可將傳感器裝在外部，穿過孔洞對內(nèi)部物料進(jìn)行檢測，輕松實(shí)現(xiàn)識別晶片傾斜/缺料等位置不正的情況
- 激光的指向性佳，光斑小，便于安裝
控制憎水液位
液位傳感器 CE30-26NO
- 當(dāng)槽管內(nèi)存在氣泡時，普通的光學(xué)傳感器很可能造成誤判
- 產(chǎn)品防護(hù)等級IP67，防水防塵
- 傳感器固定方式靈活，可任意輕松移動檢測位置
匣盒載物臺的下限檢測
接近傳感器 ESL-T50NO
- 超薄尺寸，厚度僅有4mm，任意狹小空間均可安裝
- 采用對射檢測原理，穩(wěn)定可靠
- 檢測距離達(dá)50cm，任意大小的設(shè)備場景均可使用
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